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FT-CZ1400Se

12英寸半導(dǎo)體級單晶爐

拉晶過程全程自動化

在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將硅材料熔化，

用直拉法生長無位錯單晶的設(shè)備。

 

性能優(yōu)勢

設(shè)備主體結(jié)構(gòu)優(yōu)化，提高了整機穩(wěn)定性。

具有拉制12英寸COP FREE半導(dǎo)體單晶硅棒的功能。

采用新型隔離閥。

液面高度監(jiān)控系統(tǒng)。

高精度傳動機構(gòu)。

雙層水冷套、可升降雙層水冷屏。

12英寸半導(dǎo)體級單晶爐
型號 FT-CZ1400Se
場所 周圍溫度 15~30℃
周圍濕度 ≤65%（無結(jié)露，腐蝕氣體）
潔凈度 10000級凈空房
噪音 ≤75db
地基 3000kg/㎡以上
電源 額定電壓 3P 380VAC±10%  50/60Hz
額定電容 420kVA（主副合算）
額定流量 650A（主副合算）
冷卻水 流量范圍 500L/min
供給壓力 0.3~0.4MPa
重量 設(shè)備高度                                                                       ＜8290mm                                                            △      
設(shè)備重量 約26T

 

 

△ 項數(shù)據(jù)視上爐筒高度而定，本設(shè)備數(shù)據(jù)不含磁場。

全國熱線

021-36162928

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